nXDS干式涡旋真空泵特点10i/15i/20i

nXDS干式涡旋泵常用的三款型号：nXDS10i、nXDS15i、nXDS20i、具备出色的抽气能力，极限真空性能和的设计特

性，性能居同类产品

产品特点：

温控风扇：可以在低负载条件下降低风扇转速，从而使最小噪声降至仅52dB(A).

轴承罩：可确保将制程气体与轴承润滑剂相分离，以确保清洁的真空环境，并避免制程气体中的污染物进入

润滑剂中，从而延长轴承的使用寿命。

变频器驱动：全球范围内泵性能*相同，易于控制、功耗降低和自动电压调整特性，从而有助于打造用户

体验。

优化涡盘设计：转速提高，真空提高一个数量级，压力仅为7*10-3mbar。

优化端面密封技术：使用寿命发生显著变化，就大多数应用而言，典型的端面密封条使用寿命达到2年以上。