罗茨泵维修时关于极限真空是其的重要参数之一，其含义是在严密封闭泵的入口时，经较长时间运转所能达到的高真空度。因常用压力表示，故又称极限压力。从特性曲线中可以看出，当罗茨泵达到极限真空时，通过泵入口的正向气流量为零，即泵的实际抽速为零。如果与前级真空串联工作，由于气流连续性，此时前级泵也同时达到极限真空。