WAU2001莱宝罗茨真空泵作为中高真空系统的核心增压设备，凭借高抽速、低振动和长寿命优势，广泛应用于镀膜、半导体、分析仪器等领域。然而在长期运行中，受工艺气体、前级泵匹配、冷却条件或操作习惯影响，常出现抽速下降、过热停机、异响、极限真空不佳等问题，轻则降低生产效率，重则导致设备损坏。科学识别
WAU2001莱宝罗茨真空泵出现的故障并采取规范措施，是保障长期稳定运行的关键。
一、抽气速度明显下降或达不到工艺要求
原因：前级泵性能不足、转子积垢、同步齿轮磨损或进气口堵塞。
解决方法：
检查前级泵（如旋片泵）是否正常工作，极限真空应≤1mbar；
清理进气滤网及管道内粉尘或冷凝物，确保气流通畅；
若用于含蒸气或颗粒工艺，定期拆检转子表面，用无水乙醇或专用清洗剂去除沉积物；
核对电机转向是否正确（泵体箭头方向），反转会严重降低抽速。
二、泵体温度过高，触发过热保护停机
原因：冷却不足、环境温度高、长时间超负荷运行或冷却水路堵塞。
解决方法：
检查冷却水流量（通常≥4L/min）与温度（＜30℃），清理水路滤网或水垢；
确保通风良好，避免在密闭柜内运行；
避免在10-3mbar以下长时间空载运转，此时压缩比过大易发热；
若为风冷型号，清洁散热鳍片，确保风扇正常运转。
三、运行中出现异常噪音或振动
原因：轴承磨损、同步齿轮间隙增大、转子碰擦或地脚螺栓松动。
解决方法：
停机检查泵体是否水平安装，紧固地脚与联轴器螺栓；
听噪音来源：高频啸叫多为齿轮问题，低频轰鸣可能为轴承失效；
联系授权服务商进行振动频谱分析，必要时更换轴承或齿轮组件；
切勿强行继续运行，以免造成转子卡死或电机烧毁。
四、极限真空度变差
原因：系统泄漏、轴封老化、前级真空不良或泵油乳化（若润滑型）。
解决方法：
使用氦质谱检漏仪排查法兰、接头、密封圈等潜在漏点；
检查机械密封或磁流体密封是否失效，观察是否有润滑油渗入泵腔；
更换前级泵油，确保其极限真空达标；
对新安装系统，进行24小时烘烤除气后再测极限真空。
更新时间：2026-01-23 
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