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莱宝SV750B真空泵维修时应注意事项分享
更新时间:2026-02-03      阅读:34
   莱宝SV750B真空泵是一款高性能油润滑旋片式真空泵,广泛应用于半导体、镀膜、分析仪器及科研领域。其结构精密、运行可靠,但一旦需维修,若操作不当,易造成二次损伤、油路污染、密封失效或性能下降。莱宝SV750B真空泵维修必须秉持断电、防污严谨、原厂配件、循序检测的原则,才能安全高效恢复其高真空性能。

 


  一、维修前准备
  停机与泄压:
  关闭电源,挂“禁止操作”警示牌;
  打开气镇阀,释放泵腔内残余真空与压力,防止拆卸时油喷溅;
  排空旧油:
  热态下(运行5分钟后停机)排放旧油,确保杂质随油排出;
  收集废油按危废处理,禁止随意倾倒。
  二、拆卸过程
  环境要求:在洁净无尘工作台操作,避免灰尘进入泵腔;
  部件标记:对端盖、转子、旋片等精密件做位置标记,确保回装同向;
  禁用蛮力:使用专用拉马拆卸联轴器,严禁锤击泵体或轴端。
  三、关键部件检查与更换规范
  旋片与转子:
  测量旋片厚度(新件约8mm),磨损>1.5mm或出现裂纹必须更换;
  转子槽无毛刺、划伤,否则需研磨或更换总成;
  油雾分离器:
  滤芯堵塞会导致排气冒烟、油损耗加剧,建议每次大修更换;
  密封件:
  所有O型圈、轴封(如氟橡胶FKM)必须使用原厂备件,普通橡胶不耐高温油蒸气,易老化泄漏。
  四、回装与注油要点
  清洁度:所有零件用无水乙醇或专用清洗剂清洗,压缩空气吹干,禁用棉纱擦拭(留纤维);
  润滑预涂:旋片、转子、轴承装配前薄涂新真空油(LeyboldLVO140或兼容ISOVG100);
  注油标准:
  加注至油窗“MAX”线,启动后运行10分钟,停机再补至中线(热膨胀预留空间)。
  五、试运行与性能验证
  空载测试:
  先不接负载,运行30分钟,观察有无异响、过热(外壳≤70℃)或漏油;
  极限真空测试:
  连接校准过的真空计,抽至稳定后记录极限值,应≤5×10mbar;
  气镇功能验证:开启气镇阀,抽湿气负荷,确认无乳化、无压力异常升高。
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