真空泵中真空泵油不仅作为获得真空的介质，还对机械摩擦点起润滑、冷却和密封作用。

　　真空泵油由于要求真空度很高，一般用石蜡基窄馏分润滑油，对于扩散真空泵，还可使用蒸气压很低的硅油或其他合成油。

　　真空泵腔内容积不断变化而形成排气作用，要求润滑油应具有合适的粘度和粘温特性。

　　真空泵不断向高速度发展，由于滑片和泵体的高速摩擦使油温升高，油品很容易氧化分解，尤其扩散泵往往处于很高的温度环境下工作，使系统内蒸气压升高，真空度降低，因此要求真空泵油具有良好的热氧化安定性。

　　真空泵吸入的如果是腐蚀性气体，会与油发生化学反应，腐蚀泵内零件；吸入空气中往往含有水汽冷凝水，引起真空泵油的乳化并使金属腐蚀，所以要求具有良好的抗腐蚀和抗乳化性。

　　主要要求真空泵中不携带轻质组分，以免影响油品的饱和蒸气压。

　　极限压力是真空泵油重要的使用性能指标以了解在低真空极限压力下真空泵的极限压力。

　　真空泵油应用在工业上的一些要求：

　　快速达到极限直空也是一些特定应用场合提出的要求，一般通过抽气速率和可靠性来衡量这一使用性能。流水线上使用的真空泵油一般要求比较苛刻，因它受达到真空的速度、使用寿命、使用环境、使用气体、高温高压、频繁大气状态等不可知因素的影响太大，为此使用ISO、DVE、DVF的真空油品比较合适。运动粘度应选择在VG32、46、68范围。

　　如彩管行业中显象管蒸铝小车流水线运行一圈共为5分钟。从装显像管到直联式旋片泵抽真空1分钟内全压力必须达到＜5*10-4kPa；再直接启动高真空扩散泵至10-2-10-3Pa后开始蒸发镀铝；结束后再卸显像管；周而复始。每一环节如不能达到相应指标就会影响下一道工序。

　　直联式真空泵全压力进入5*10-4kPa一般是能够做到的，但在1分钟要达到指标，就需对真空泵及真空泵油品的抽气速率和可靠性会提出更高的要求。