EDWARDS展示的真空设备

Edwards公司总部设在英国，拥有完善成熟的品牌。Edwards公司真空和尾气处理技术致力

于在整个半导体制造领域中减少污染、降低能耗和运营成本，这些领域包括LED、太阳能光伏

(solar PV)和平板显示(flat-panel display，FPD)等。

Edwards市场半导体行业Maiku Boger表示：“中国的半导体行业继续表现出强劲增

长，尤其是受到国内生产的推动。中国的战略目标包括新能源和环境的可持续性，因此，太阳

能光伏(PV)、FPD和化合物半导体等都属于中国非常具有竞争力的广泛工业领域。Edwards公司

的真空和尾气处理系统是满足这个巨大市场供应链的核心，从2005年开始，业界*中国

已经是世界zui大的半导体芯片市场。”

Edwards的真空和尾气处理系统缓解了一系列环境威胁，例如半导体生产工艺中产生的酸性和腐

蚀性气体，Edwards可帮助用户实现碳排放为负值(carbon-negative)。Edwards通过一系列创新

但已经过验证的泵和系统来提供高能效解决方案，所有这些方案都仅需要相对较低的资本投入

和维护成本。　　

Edwards在中国的主要目标就是按照客户的特定要求来提供定制的真空解决方案和增值服务，以

便帮助他们应对在先进工艺和设备制造中遇到的挑战。Edwards能够在需要尾气处理的场合提供

“交钥匙”系统方案。

EDWARDS展示的真空设备