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德国莱宝涡旋真空泵维修保养SC15D
目前半导体、平板显示、太阳能光伏电池以及化学工业的发展迅速,对洁净真空的要求越来越高。为了满足客户对无油洁净真空的需求,欧瑞康莱宝推出了SC系列涡旋式真空泵。
德国莱宝涡旋真空泵维修保养SC15D系列真空泵特点:
·可以提供抽速为5,15和30m3/h的3款产品SC5/15/30D;
·高极限真空,zui低可达0.01mbar;
·低噪声;
·低振动;
·允许进气压力大;
·重量轻;
·能耗低;
LEYBOLD莱宝ECODRY M 系列活塞式干泵
Ecodry系列为欧瑞康莱宝推向市场的一种干式泵。它可以满足除半导体行仪以外的所有干式真空的需要。由于它相对于其他干式泵来说,结构简单,价合理,因此刚一面市、即受到广大格用户的欢迎。
Ecodry活塞式干泵的主要技术参数:
抽速:14m3/h~30m3/h
极限真空度:5.5×10-2mbar
排水蒸气能力:25mbar(zui大)
Ecodrg活塞式干泵的主要特点:
1、结构简单,易于操作和维护;
2、工作过程中不产生粉尘;
3、耐粉尘,排水蒸气能力强;
4、低能耗,坚固耐用,可靠性高;
5、可以选配变频器增大抽速;
典型应用:质谱仪,电子显微镜,照明,镀膜,loadlock,无油高真*级泵等