爱德华半导体真空泵维修EPX180L

新的紧凑型EPX180L、 EPX500 高真空干泵的特性是：工作性能更佳，运行成本更低。EPX500 EPX180L、使用了的保护机械装置，能够从大气压抽空到小于 7 x 10-5 Torr 的极限压力。
IPX 系列，可提供的性能，与 EPX 相比，包装重量轻了 20%、体积小了 30% 且功率降低了 40%。 

应用:

EPX 系列涵盖的应用，从水处理到中度工作负载的制程。

EPX“L”系列旨在用于泵送惰性气体混合物（如负荷锁定）且通过制程机台接口提供控制的清洁工作应用。

功能和优势

紧凑的占地面积 – 作为可用的小工具上泵之一，EPX 节省了占地面积。EPX 可以直接安装到工具上，从而节省了前级管道和安装成本，如果需要也可远程安装。

低运行成本 - EPX 仅需要 1.4 kW 的功率和整合空闲模式，从而可化功率效率。的保护机械装置 – EPX 可以从大气压抽空到涡轮分子基准压力，并可以在所有进气口压力下连续工作。

超清洁机械装置 – 传统的高真空轴承底油脂使用油脂润滑，这可能成为制程工具中污染源。EPX 泵没有高真空轴承底油脂，并且不存在任何其他的潜在污染源。

非常可靠EPX 基于经过现场验证的 IPX 技术，具有 13 年的 MTBFp (SEMI E10)，大约每 5 年维修一次，程度地延长了泵的使用寿命。

可兼容的网络 - EPX 系列配有终用户控制，可以连接到各种结构的网络，以进行诊断监视和控制。 
 

Edwards Overhaul：爱德华真空泵维修、爱德华真空泵保养、Edwards真空泵维修、Edwards真空泵保养

Leybold Overhaul：莱宝真空泵维修、莱宝真空泵保养、Leybold真空泵维修、Leybold真空泵保养

Busch Overhaul：普旭真空泵维修、普旭真空泵保养、Busch真空泵维修Busch真空泵保养

Becker Overhaul：贝克真空泵维修、贝克真空泵保养、Becker真空泵维修Becker真空泵保养 

Rietschle Overhaul：里其乐真空泵维修、里其乐真空泵保养、Rietschle真空系维修 Rietschle真空泵保养

Pfeiffer Overhaul：普发真空泵维修、普发真空泵保养、Pfeiffer真空泵维修、Pfeiffer真空泵保养

Alcatel Overhaul：阿尔卡特真空系维修、阿尔卡特真空泵保养、Alcatel真空泵维修、Alcatel真空泵保养 

eVarian Overhaul：瓦里安真空泵维修、瓦里安真空泵保养、Varian真空泵维修、Varian真空泵保养

eKinney Overhaul：凯尼真空泵维修、凯尼真空泵保养、Kinney真空泵维修、Kinney真空泵保养

Sullair Overhaul：寿力真空泵维修、寿力真空泵保养、Sullair真空泵维修、Sullair真空泵保养

D.V.P.Overhaul：意大利D.V.P.真空泵维修、D.V.P.真空泵保养 

eP.V.R.Overhaul：意大利P.V.R.真空泵维修、P.V.R真空泵保养

.GEV Overhaul：意大利GEV真空系维修、GEV真空泵保养 

Vuototecnica Overhaul：意大利沃泰克真空系维修、沃泰克真空泵保养、Vuototecnica真空系维修、Vuototecnica真空泵保养 

Atlas-Copco Overhaul：阿*科普柯真空京维修、阿*·科普柯真空泵保养。Atlas·Copco真空泵维修

Shinko Seiki Overhaul：神港精机真空泵维修、神港精机真空泵保养、Shinko Seiki真空泵维修、Shinko Seiki真空泵保养

Maruyama Overhaul：丸山真空泵维修、丸山真空泵保养、Maruyama真空泵维修、Maruyama真空泵保养

oHitachi Overhaul：日立真空泵维修、日立真空泵保养、Hitachi真空泵维修、Hitachi真空泵保养

Hanbell Overhaul：中国台湾汉钟真空泵维修、汉钟真空泵保养、Hanbell真空泵维修、Hanbell真空泵保养 

Woosung Overhaul：韩国优成真空泵维修、优成真空泵保养、Woosung真空泵维修、Woosung真空泵保养 

Doovac Overhaul：韩国斗一真空泵维修、斗一真空泵保养、Doovac真空泵维修、Doovac真空泵保养 

Kodivac Overhaul：韩国大亚真空泵维修、大亚真空泵保养、Kodivac真空泵维修、Kodivac真空泵保养