爱德华EPX180L半导体真空泵维修保养

新的紧凑型EPX180L、 EPX500 高真空干泵的特性是：工作性能更佳，运行成本更低。EPX500 EPX180L、使用了的保

护机械装置，能够从大气压抽空到小于 7 x 10-5 Torr 的极限压力。

IPX 系列，可提供的性能，与 EPX 相比，包装重量轻了 20%、体积小了 30% 且功率降低了 40%。

应用:

EPX 系列涵盖的应用，从水处理到中度工作负载的制程。

EPX“L”系列旨在用于泵送惰性气体混合物（如负荷锁定）且通过制程机台接口提供控制的清洁工作应用。

功能和优势

紧凑的占地面积 – 作为可用的小工具上泵之一，EPX 节省了占地面积。EPX 可以直接安装到工具上，从而节省了前级

道和安装成本，如果需要也可远程安装。

低运行成本 - EPX 仅需要 1.4 kW 的功率和整合空闲模式，从而可化功率效率。

的保护机械装置 – EPX 可以从大气压抽空到涡轮分子基准压力，并可以在所有进气口压力下连续工作。

超清洁机械装置 – 传统的高真空轴承底油脂使用油脂润滑，这可能成为制程工具中污染源。EPX 泵没有高真空轴承底油

脂，并且不存在任何其他的潜在污染源。

非常可靠EPX 基于经过现场验证的 IPX 技术，具有 13 年的 MTBFp (SEMI E10)，大约每 5 年维修一次，程度地延长了

泵的使用寿命。

可兼容的网络 - EPX 系列配有终用户控制，可以连接到各种结构的网络，以进行诊断监视和控制。

爱德华真空泵是半导体、平板显示器、LED 和太阳能电池的制造过程中*的部分，应用于日益多范围化的工业过

程，包括电力、玻璃和其他涂层应用、钢和其他冶金、制药和化学；适用于科学仪器和许多研发应用。

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现场服务等售后服务项目。拥有专业的进口真空泵维修车间，配件充足/维修速度快/提供备用机/

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服务细节:您一旦下订单，我们将会与您商定安装日期。我们提供的系统调试步骤包括：正确组装，全盘考虑所有必要的

技术性能检测（若适用）的管道连接根据现场供应情况安装电气设备（包括传感器和控制系统集成（若有））正确加满润

滑油（如有需要）试运行，检查并记录输出数据为操作人员提供系统操作培训:指导检测：公司拥有进口检测设备与专业技

术，提供质量稳定，确保维修过后达到的真空度和稳定性能，确保客户生产安全无忧。我们的真空可以根据您在真空泵中

的需求，提供准确、全面和快速的响应和支持。

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